在进步芯片得片率的一起,大尺度衬底还能进步单机芯片产出。因为MOCVD设备报价非常贵重,所以进步单机芯片产值也是下降LED芯片本钱的首要路径之一。选用大尺度衬底能够大幅进步每个次序的芯片产值,选用6英寸衬底每个次序的芯片产值比2英寸衬底进步55%。
在此基础上,我们选用改良KY法技能,突破了传统的C向长晶法,http://www.sinled.com 不光将商品做到了大公斤等级,并且晶体质量到达A向长晶同等乃至更优水平。经过对90kg晶体系统的测验及客户的反应发现,晶体的功能一致性及稳定性好,开炉合格率高达85%以上,位错密度区别很小。
A向长晶,C向掏棒,衬底每个点上的成长时间跨度大,张力和应力相差也较大;C向长晶,C向掏棒,衬底上张力和应力都较小。实验标明,改良KY法 90kg晶体制造的衬底磊晶过程中弯曲度和翘曲度表现优于A向长晶。一起,晶棒最长可超越300mm,关于多线切割机来说正巧匹配,无需进行多根晶棒粘结,大大进步切片功率及一致性,节省了本钱。
当前,C向长晶最大已经能制造12英寸C向衬底及部件,能够大幅提高LED外延芯片的出产功率和本钱竞争力。 斯诺光电:http://www.sinled.com